根据住房和城乡建设部《关于印发〈2012年工程建设标准规范制订、修订计划〉的通知》（建标〔2012〕5号）的要求，由工业和信息化部电子工业标准化研究院、中国电子系统工程第四建设有限公司会同有关单位共同编制而成。

本标准在编制过程中，编制组走访了国内有关二极管生产工艺设备的研发和生产单位，收集了有关二极管生产工艺设备的搬运、运输、安装、调试和工程验收要求的资料，在总结国内实践经验、吸收近年来的科研成果、借鉴国外符合我国国情的先进经验的基础上，广泛征求了国内有关设计、生产、研究等单位的意见，最后经审查定稿。

本标准的主要技术内容是：总则、术语、基本规定、施工准备、设备安装、单机试运转、工程验收等。

本标准中以黑体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。

本标准由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释，由工业和信息化部负责日常管理，由中国电子系统工程第四建设有限公司负责具体技术内容的解释。本标准在执行过程中，请各单位注意总结经验，积累资料，如发现需要修改或补充之处，请将有关意见、建议和相关资料寄至中国电子系统工程第四建设有限公司（地址：北京市丰台区南四环西路188号，邮编：100070），以供今后修订时参考。

本标准主编单位：工业和信息化部电子工业标准化研究院　中国电子系统工程第四建设有限公司

本标准参编单位：信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司　中国电子科技集团公司第二研究所　住房和城乡建设部标准定额研究所　中微半导体设备（上海）有限公司　华延芯光（北京）科技有限公司　中国电子科技集团公司第四十五研究所

本标准主要起草人员：万铜良　杜宝强　薛长立　毕敏娜　范双怀　江诗兵　丁长勇　程航　董学鑫　穆文涛　石小琰　樊小林　邵森　吕广浩　许卫　王云静　卢宝国　张少梅　郑秉孝　朱纮文　晁宇晴　朱班　孙辉　杨晓静

本标准主要审查人员：李强　周启彤　张素伟　罗桥　潘汝奇　黄群骥　黄海星　高鹏　李端林　洪峰

中华人民共和国住房和城乡建设部公告

2019年 第254号

住房和城乡建设部关于发布国家标准《发光二极管生产工艺设备安装工程施工及质量验收标准》的公告

现批准《发光二极管生产工艺设备安装工程施工及质量验收标准》为国家标准，编号为GB 51392—2019，自2020年4月1日起实施。其中，第4.4.7（3）、6.0.7（4）、6.0.17（3）条（款）为强制性条文，必须严格执行。

本标准在住房和城乡建设部门户网站（www.mohurd.gov.cn）公开，并由住房和城乡建设部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行。

中华人民共和国住房和城乡建设部

2019年9月25日

目录

中华人民共和国住房和城乡建设部公告

前言

1 总则

2 术语

3 基本规定

4 施工准备

4.1 安装前的储存

4.2 施工条件及准备

4.3 设备开箱

4.4 设备搬运

5 设备安装

5.1 一般规定

5.2 外延设备安装

5.3 芯片制作设备安装

5.4 芯片封装设备安装

5.5 测试设备安装

5.6 二次配管配线

5.7 质量检验

6 单机试运转

7 工程验收

7.1 一般规定

7.2 交接验收

7.3 竣工验收

7.4 验收不合格处置

附录A 发光二极管基本生产工艺流程

附录B 验收记录表

本标准用词说明

引用标准名录

4.4.7 起吊软包装或无包装的设备时应符合下列规定：

1 起吊使用的吊索根据设备重量在满足负荷要求的情况下，宜采用柔软吊索；

2 吊索捆绑位置应避开仪表及结构脆弱部位，起吊时应注意设备的重心，并应防止设备倾斜跌落；

3 起吊区域下方应设置安全隔离及警示标志，设备起吊时严禁人员进入起吊区域下方；

4 设备起吊不宜过高，以能顺利拆除外包装箱底为宜；

5 起吊时应控制提升和下降速度，不得产生冲击、碰撞现象；

6 设备起吊过程中，宜采用附缆控制方向。

6.0.7 曝光机的试运行应符合下列规定：

1 曝光系统应具有光强调节装置，光源调节应灵活可靠，曝光均匀性应随分辨率要求而定；

2 打开曝光机汞灯预热30min后，应用紫外线测量仪测量承片台上、下、左、右、中五处的光刻强度，均匀度允许偏差为±5%，并应根据测量强度设置好光刻能量；

3 准备工作做好后应进行接触式或投影式光刻，光刻后应及时显影；

4 激光光路及曝光光源必须安装保护装置。

6.0.17 X射线检查仪的调试及试运行应符合下列规定：

1 将待测样件放到设备载片台上、夹持好或吸附住后，应关闭并锁定设备安全门；

2 开启总电源，控制工作台运动，各个运动部位应在运行平稳的状态下使红色指示光标指到待检样件中心位置；

3 X光开关开启前必须确保设备安全门处于关闭状态；

4 启动X光开关按钮进行设备辐射强度检测，合格后调节测试参数，设备应能达到显示清晰图像的效果。