本规范是根据建设部“关于印发《2005年工程建设标准规范制订、修订计划（第二批）》的通知”（建标函〔2005〕124号）的要求，由中国电子系统工程第二建设有限公司会同有关单位共同编制而成。

本规范在编制过程中，编制组对我国6英寸集成电路生产线工艺设备、8英寸集成电路生产线工艺设备及部分集成电路工艺设备生产厂家所生产设备，就储存、搬运、安装的要求进行了调研，根据多年来设备使用单位、设备生产单位、设备安装单位对微电子工艺设备安装技术的经验积累，借鉴国外当前符合我国国情的技术，在广泛征求意见的基础上，进行了反复讨论和修改，最后经审查定稿。

本规范共分5章和5个附录。主要内容包括：总则、术语、基本规定、单机调试及试运转和工程验收等。

本规范中以黑体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。

本规范由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释，由工业和信息化部负责日常管理，由中国电子系统工程第二建设有限公司负责具体技术内容解释。本规范在执行过程中，请各单位注意总结经验，积累资料，如发现需要修改或补充之处，请将意见和建议寄送给中国电子系统工程第二建设有限公司（地址：江苏省无锡市钱荣路160号，邮政编码：214151），以供今后修订时参考。

本规范主编单位、参编单位和主要起草人：

主编单位：中国电子系统工程第二建设有限公司

参编单位：中国电子科技集团公司第四十五研究所

　中国电子科技集团公司第五十八研究所

　中国电子科技集团公司第二研究所

　中国电子工程设计院

　信息产业电子第十一设计研究院有限公司

　北京七星华创电子股份有限公司

　江南大学

主要起草人：王开源　邓顺志　严军　蒋迪宝　晁宇晴　沈贤平　王兴旺　于宗光　杨光明　李骥　王炤文

中华人民共和国住房和城乡建设部公告

第202号

关于发布国家标准《微电子生产设备安装工程施工及验收规范》的公告

现批准《微电子生产设备安装工程施工及验收规范》为国家标准，编号为GB 50467-2008，自2009年7月1日起实施。其中，第3.10.15、3.10.16、3.10.17、3.10.18、3.11.1、3.11.4、3.11.10、5.4.2条为强制性条文，必须严格执行。

本规范由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行。

中华人民共和国住房和城乡建设部

二〇〇八年十二月十五日

目录

中华人民共和国住房和城乡建设部公告

前言

1 总则

2 术语

3 基本规定

3.1 施工条件

3.2 施工准备

3.3 定位放线

3.4 设置特殊基础

3.5 壁板开洞

3.6 室外搬运

3.7 设备开箱及吊装

3.8 室内搬运

3.9 设备安装就位

3.10 二次配管配线

3.11 二次配管压力试验

4 单机调试及试运转

5 工程验收

5.1 一般规定

5.2 交接验收

5.3 竣工验收

5.4 验收不合格处置

附录A 设备安装技术参数

附录B 微电子生产设备安装工艺流程

附录C 人员进出洁净区流程

附录D 工程质量验收记录用表

附录E 典型国产集成电路生产设备单机试运转及验收范例

本规范用词说明

条文说明

3.10.15 生产设备、电气配管、氢气配管、氧气配管的接地必须与专用接地线可靠连接。

3.10.16 当微电子生产设备的生产和安装同时进行时，二次配管配线应符合下列规定：

1施工中进行焊接等产烟明火作业时，必须取得建设单位签发的动火许可证及动用消防设施许可证。

2生产区与安装区之间应采取临时隔离措施。

3垂直作业时，应采取安全隔离措施，并应设置危险警示标志。

4洁净度等级高于等于5级的洁净室（区）的人员密度不应大于0.1人/m，洁净度等级低于5级的洁净室（区）的人员密度不应大于0.25人/m。

3.10.17 管子从在用配管连接到新安装设备时，必须从一次配管上预留阀门后接至设备相应接口，严禁在一次配管上新开三通接管。

3.10.18 管子从停用配管连接到新安装设备时，应排尽阀后所有管内介质，其中可燃、易爆和助燃介质应排至室外安全场所。

3.11.1 二次配管工作压力不小于0.1MPa的管道应进行压力试验，其中可燃、易爆和助燃性气体管道应进行气密性试验；气密性试验合格后，再次拆卸过的管道必须再次做气密性试验。

3.11.4 二次配管压力试验开始时应测量试验温度，试验温度严禁接近材料脆性转变温度。

3.11.10 输送介质为可燃、易爆和助燃的管道应采用惰性气体进行冲（吹）洗，冲（吹）洗气体的纯度不应低于管网输送介质的纯度。

5.4.2 经返修后仍不能满足安全使用和性能要求的分项工程不得进行验收。

3.10.15 因为接地是确保人身与设备安全的措施，所以将此条列为强制性条款，要求施工人员必须严格执行。

3.10.16 由于设备分期到货而间隔时间较长，先期到达的设备已安装调试完成并已投入生产，或已生产的车间需要调整生产线或更换设备，这时的安装配管就处于生产安装同时进行状态。本条文对在这种条件下进行二次配管配线作出规定。

1 规定施工中进行焊接等产烟明火作业时，应取得建设单位签发的动火许可证及动用消防设施许可证。这是因为建设单位要针对动火区域截断火灾报警系统，避免火灾报警器在这种情况下报警及启动一系列联锁保护动作，如停止空调送风及排风、告知工作人员紧急疏散等，避免造成产品报废的重大损失。动火期间建设方和施工方组织专人监视动火作业全过程，动火作业完成并经检查万无一失后，再恢复报警系统。

2、3 规定在生产区与施工区之间应采取隔离措施，是为了避免伤害生产人员、损坏生产设备。

4 要求控制进入洁净室的人数，是为了将环境污染减到最低程度。所提出的人员密度为一般情况下的指标，当某工序按该指标规定的人数无法进行作业时，可与建设单位商讨增加必要的人数，但应适时撤出。

3.11.1 本条规定了哪些二次管道要进行压力试验。对此作过一些调查，多数被调查对象（工程项目）只对有焊接、螺纹、法兰等连接接头的危险介质管道作压力试验。压力试验是与安全紧密相关的一道重要工序，必须对此道工序进行规范。根据多年工作实践经验、安全要求和管道的介质性质，条文规定：工作压力不小于0.1MPa的管道应进行压力试验，其中可燃、易爆和助燃性气体管道还应进行气密性试验；气密性试验合格后，又拆卸过的管道必须作泄漏性试验。关于0.1MPa的提出，是基于这一参数是界定压力管道的参数之一。实际上除真空管、重力排水管和排气管外，生产设备二次管道的工作压力都在0.1MPa以上。

3.11.10 对输送介质为可燃、易爆和助燃的管道应用惰性气体进行吹洗，是为了保护环境和安全，避免发生火灾；对惰性气体纯度提出要求，这是为了保证管网不被试验介质污染，进而达到输送介质的纯度要求。

5.4.2 分项工程存在严重缺陷，经返修后仍不能满足安全使用要求的，严禁验收。